HOME OFIC HOME 会社案内 Company profile 事業所紹介 Network 製品情報 Product 採用情報 Recruit 関連会社 Group company リンク Link お問い合わせ Inquiry

実績・加工例

シリコンウエハの加工

太陽電池用シリコンウエハのスライス加工(切断加工)の分野において、当社は傑出した技術力と実績を保持しております。単結晶・多結晶シリコンに対する固定砥粒方式による量産体制の構築やウエハの薄型化などの各種技術課題を、次々と達成してきました。

現在わが国においては、太陽電池は21世紀の主要なエネルギー源としての役割がますます注目されております。当社もその中で、独自のスライス加工技術を武器に、お客様に貢献する道を追求していきます。

太陽電池

マルチワイヤーソー

洗浄装置

太陽電池用シリコンウエハ工程図(スライス加工のみ)

01

ブロック接着

ワイヤーソーにセットできるように、《治具》−《捨板》−《ブロック》をエポキシ系接着剤で貼りあわす工程。

捨板をはさむのは、直接治具とブロックを接着させてしまうと治具を直接ワイヤーで切ってしまい、治具そのものが使えなくなるのと治具の切粉による金属汚染の影響があるため。

01

スライス加工(遊離砥粒方式の場合)

下図の模式図のように、スラリーと呼ばれる砥粒とクーラントを懸濁したものを高速で走るワイヤー上にかけながらシリコンを押し当てて、それによりワイヤー上にのった砥粒によってシリコンを削っていくことによりスライスを行う。

2本のガイドローラーにワイヤーをガイドローラーに彫られた溝に等間隔で走らせ、その上にスラリーをノズルより供給し切断を実施する。
シリコンのブロックの長さによりますが、一回の切断により数千枚のシリコンウエハにスライスされます。

その他材料

石英ガラス

当社はマルチワイヤーソーによる太陽電池用シリコンウエハの切断加工で培った技術・ノウハウをもとに磁性材料、ガラス系材料、焼結品、セラミックス、各種特殊合金、樹脂系素材などの加工実績があります。新規でのマルチワイヤーソー加工を依頼されるお客様には、マルチワイヤーソーという設備自体をご存知なかった方も多いです。そのような方に対してもマルチワイヤーソー加工の原理の説明に始まり、お客様の素材へのマルチワイヤーソー加工の適用の可能性を真摯に追求しております。たとえわずかでもお手元の難削材・硬脆材料を「マルチワイヤーソーを使えば、もっと安価に効率よく切れるかもしれない」と思われた方は、是非大阪富士工業のスライス加工部門までお問い合わせください。

項 目 詳 細
スライスの特徴 高効率スライスにより、材料歩留りを向上させ、一度のスライスで大量の素材を加工することが可能です。さらに、冷間加工の為、加工熱による影響を受けにくいというメリットがあります。
被削物の例 シリコン、石英、焼結品、セラミックス、ガラス、樹脂、超硬合金及び超難加工性金属材料にも対応可能。
被削材の寸法形状 幅(最大160mm)×高さ(最大160mm)×長さ(最大450mm)程度
※装置により異なりますので、別途ご相談下さい。
被削材の重量 最大 20kg程度
製品形状 板状(一方向への直線的な切断加工)
製品精度 厚さ 120μm以上
表面粗さ Ra=0.5μm程度(シリコンスライス実績より)
※詳細は別途打合せにて検討

上記は加工の一例です。形状・サイズ・材質等については、一度ご相談ください。